Программы пакета TCAD работают в среде операционной

Программы пакета TCAD работают в среде операционной системы LINUX. Поэтому необходимо иметь представление о минимальном наборе команд, набираемых и запускаемых из командной строки, например: ls, mkdir, cd, kedit. Сами программы пакета ТСАD, например DIOS, Inspect, также запускаются из командной строки командами dios и inspect соответственно. Далее все эти операции будут описаны подробнее.

          Войдите в  директорию NMOScd NMOS.

          Откройте файл nmos.cmd в стандартном текстовом редакторе kedit (kedit nmos.cmd) и подставьте в него параметры для имплантации и отжига из таблицы1 в соответствии с вашим вариантом из заданий на самостоятельную работу.

          Запустите файл nmos.cmd на моделирование – dios nmos.cmd.

          Моделирование приостановится после имплантации и отжига кармана (в командном файле задана команда break). В графическом окне dios щёлкните Species и выбирите BTOTAL (общее распределение бора): обратите внимание, как сетка адаптировалась под профиль бора. По умолчанию, сетка адаптируется под градиент концентрации. Обратите также внимание на то, что «комментарий» для шага имплантации появляется как новый заголовок в графическом окне. Завершите моделирование кармана, нажав exitи confirm.

          Повторите моделирование кармана еще с двумя моделями имплантации: Function=Gauss и Function=P4S с параметром LEXP=5e-2. При этом в команде 1d необходимо соответственно менять имена файлов для сохранения одномерных сечений. Например 1d(file=Gauss или file=JHG или file=P4S). Откройтеэтифайлывредакторе Inspect (команды: inspect, load datasets). Сравните распределения. Для каждой модели определите глубину залегания кармана и занесите эти значения в отчет.

          Для продолжения моделирования выберите ту модель, при которой достигается максимальное значение глубины кармана. Закомментируйте команду break, следующую за командой отжига кармана (перед командой ставится знак !). Продолжите моделирование.

При следующей остановке моделирования (после формирования поликремниевого затвора) нажмите на кнопку isoline, чтобы отключить контуры примеси. Нажмите левую кнопку мыши и, удерживая ее,  протяните окно, задавая область масштабирования. Щелкните правую кнопку мыши, чтобы возвратиться к предыдущему виду. Центрируйте изображение,  щелкая левую кнопку мыши

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector