Исключение составляли расчеты зависимости температурных и скоростных полей в газовой фазе

Исключение составляли  расчеты  зависимости температурных и скоростных полей в газовой фазе от продолжительности  воздействия на подложку ИК – излучения. В последнем случае существенно возрастали затраты времени для подготовки массива данных и непосредственно вычислений, так как шаг во времени для достижения сходимости должен был составлять 0.01 с.

 Во всех случаях, если это не оговорено особо, рассматривается течение водорода,  расход водорода принят равным 1 л/мин, что соответствует оптимальному значению для реактора выбранной конструкции.   Результаты численного моделирования позволили определить область экспериментальных условий, наиболее благоприятную с точки зрения организации газового потока и равномерного распределения температуры в газовой фазе. При этом было установлено, что характер газодинамических течений в реакторе зависит

— от высоты свободного пространства между поверхностью подложки и кварцевой крышкой реактора,

— диаметра подложки,

— природы  транспортирующего газа,

— продолжительности ИК-воздействия.

Влияние положения подложки.  Расчеты выполнялись для двух положений подложки диаметром 150 мм: на уровнях 26 мм и 10 мм от дна реактора (рис.4) Линии потока и изотермы  для этих двух случаев полностью не совпадают: когда подложка располагается в середине реактора ход изотерм и линий потока свидетельствует о равномерном распределении температуры в газовой фазе и ламинарном потоке, размещение подложки вблизи дна реактора приводит к возникновению конвективных спиральных неоднородностей, которые локализуются как у начала, так и над серединой подложки и приводят к деформации изотерм. В условиях неизменной облученности температура газовой фазы вблизи подложки при размещении ее на уровне 10 мм от дна реактора на 202К  ниже по сравнению с температурой подложки, размещенной в  середине

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector