Методы анализа металлических загрязнений на поверхности пластин

При контроле и измерении механических поверхностных за­грязнений обращаются в основном к бесконтактным методам, та­ким как анализ отраженного сканирующего лазерного луча и мик­роскопия [39].

Микроскопические методы, в частности, электронная и оптиче­ская микроскопия относятся к наиболее точным методам. Диапазон увеличений х10 – х50000 [40 – 42]. К данной группе измерений от­носятся растровая электронная микроскопия (РЭМ), просвечиваю­щая электронная микроскопия (ПЭМ) [42]. В основном в качестве контрольной аппаратуры в отечественном производстве полупро­водниковых структур применяется оптический микроскоп с увели­чением до х500 [43, 44].

 

6.5.2. Методы анализа органических загрязнений на поверхности пластин

Методы, основанные на смачиваемости поверхности пластин жидкостями, позволяют фиксировать физическую неоднородность поверхности, обнаруживать органические загрязнения с чувстви­тельностью 10-5–10-8 г/см2. К этой группе методов относятся ме­тоды окунания, пульверизации воды, конденсации воды, за­потевания. Указанным методам присущи недостатки: малая чувствительность при низких концентрациях загрязнений; от­сутствие возможности контроля других типов загрязнений [40].

Существуют разновидности фотометрического метода: спек­трофотометрический, нефелометрический и турбодиметрический, рефрактометрический анализы [40].

Современным методом контроля органических загрязнений яв­ляется масс-спектрометрический с чувствительностью – 1010  1011 мол/см2.

 

6.5.3. Методы анализа металлических загрязнений на поверхности пластин

Электрохимические методы. В данную группу включают: электрогравиметрический, кулонометрический, полярографи-чес­кий, кондуктометрический анализы. Электрохимические методы контроля могут быть разделены на потенциометрические и вольт­амперметрические. Методы предназначены в основном для анализа жидких технологических сред и исследования поверхностей на предмет содержания на них примесей ионов металлов [40].

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector