Основные понятия и определения термодинамики

Основные понятия и определения термодинамики.

В технологии изготовления ЭУ используется больше количество процессов описываемых с помощью термодинамических, кинетических, статических законов.

Статика – качественный учет массовых явлений. К таким явлениям относят: физическое и физико-химическое осаждение слоев, удаление слоев, создание контактов электрических, механических и других. Большинство технологий построено на процессах, связанных с высокими концентрациями энергий в обрабатываемых материалах, особенно в их приповерхностных слоях, где доминируют рабочие элементы ЭУ. Это приводит к возникновению неравновесных состояний, т.е. возникновению локальных напряжений в слоях. Т.к. элементы ЭУ выполняются не из сплошных слоев, а в отдельных участках приповерхностных областей, либо в пленках, имеющих рисунок:

 

Электро-физические свойства твердых тел реализуемых в ЭУ зависят от этих состояний, определяемых типом и концентрацией  дефектов и напряжений в твердых телах. Следовательно, электрические параметры элементов ЭУ и выход годных изделий    ( h — выход годных изделий, Nгодн, Nобщ)  зависят не только характера сил связи между атомами в слоях твердого тела, но и статического распределения возможных дефектов в нем (остаточное напряжение в структурах приводит к деформациям, отслоениям, трещинам и т.д.).

h=Nгодн/Nобщ                                                                                             (2.1)

Равновесное состояние термодинамической системы в технологии ЭУ более выгодное состояние, т.к. проще

·               Управляется;

·               Прогнозируется;

·               Контролируется.

Термодинамика (ТД), как один из разделов ТФ, изучает законы взаимных превращений энергии в равновесных процессах и направление самопроизвольных процессов в системе взаимодействующих тел. ТД не занимается детализацией сложных энергетических превращений на атомарном уровне. Совокупность всех видов энергии системы рассматривается, как единая внутренняя энергия. Классическая ТД не

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector