Электрохимическая полировка.

Электрохимическая полировка. Идея электрополировки заключается в том, что на кремний подается положительное смещение, про­цесс анодного растворения становится более управляемым. У поверх­ности кремния создается тонкая вязкая пленка продуктов растворе­ния, обладающая электрическим сопротивлением большим, нежели сопротивление самого электролита. Толщина такой пленки над пика­ми (микронеровностями) меньше, чем над впадинами. Анодный ток в соответствии с этим перераспределяется, и пики травятся быстрее. Чем тоньше пленка при электрополировке, тем выше качество полученной в результате поверхности. Толщина и сопротивление пленки зависят от ряда факторов, в первую очередь, от состава электролита, скорости его перемешивания и температура.

В состав электролита входит плавиковая кислота или 6ифторид аммония и глицерин, регулирующий вязкость. Схема установки для электрохимической полировки пластин приведена на рисунке 4.

 

 

 Рисунок 4. Схема устройства для электрополировки полупроводниковых пластин:

1 – осветительная система для генерации дырок при обработке полупроводниковых пластин n-типа; 2 – металлический катодный диск; 3 – капельница с электролитом; 4 – пластина полупроводника; 5 – металлический анодный диск.

 


Лабораторное задание

1. Осуществить входной контроль кремниевых пластин.

2. Определить при помощи химического травления толщину нарушенного слоя, вызванного механической обработкой (шлифовкой) поверхности кремния.

3. Провести травление полированной кремниевой пластины в травителях для определения зависимости скорости травления от состава травителя.

4. Осуществить контроль качества поверхности пластин.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector