Подготовка инженера электронной техники в области физико-химических процессов

Подготовка инженера электронной техники в области физико-химических процессов технологии интегральных микросхем (ИС) и полупроводниковых приборов связана с большими трудностями, обусловленными отсутствием учебников, учебных пособий или хотя бы близких по направлению монографий. Настоящая книга написана в качестве первой попытки восполнить указанный пробел. В книге изложен материал лекций, которые читались Ю. Д. Чистяковым в период с 1963 по 1968 г. на факультете «Полупроводниковые материалы и приборы» в Московском институте стали и сплавов и Ю. Д. Чистяковым и Ю. П. Раиновой в течение последних десяти лет на физико-химическом факультете Московского института электронной техники.

Наиболее важные процессы, используемые в технологии микроэлектроники, собраны и классифицированы по основным физико-химическим признакам. Понимание основных групп процессов дает возможность хорошо представить себе место любого из них в технологии микроэлектроники, а приведенные по процессам примеры укрепляют эти представления, давая возможность переходить от общего к частному.

Это нужно прежде всего потому, что в настоящее время назрела необходимость проводить интеграцию не только собственно элементов (активных, пассивных и преобразующих) ИС по электрофизическому признаку, но и технологических процессов изготовления этих ИС, заставляя протекать их в едином интегральном (совмещенном) технологическом цикле. Пожалуй, интеграция технологических процессов на сегодняшний день не менее важная задача, чем интеграция элементов микросхем, в развитии которой  достигнуты большие успехи.

В настоящее время в интеграции технологических процессов положено только начало. Для решения этой задачи необходима прежде всего детальная дифференциация (классификация) процессов по наиболее характерным физико-химическим признакам. Правильная классификация процессов – уже значительный вклад в решение проблемы интеграции.

Инженер электронной техники – физико-химик по образованию должен хорошо представлять основные пути реализации технологии – знать, как осуществлять конкретные операции, какие закономерности лежат в их основе, уметь прогнозировать направление протекания процесса и свойства конечных продуктов на основе анализа характера физико-химического взаимодействия компонентов данной системы, уметь пользоваться термодинамическими и кинетическими расчетами. Все эти вопросы рассмотрены в настоящем учебном пособии.

Развитие микроэлектроники идет настолько стремительно, что технологические процессы и соответствующее технологическое оборудование быстро стареют. Поэтому основное внимание как в самих лекциях по курсу физико-химические основы технологии микроэлектроники, так и в настоящем учебном пособии обращается не столько на существующие технологические процессы и конкретные способы производства тех или иных микросхем или дискретных приборов, сколько на общее описание этих процессов с конкретным разбором их основных физико-химических характеристик. В качестве примеров в книге приводятся наиболее современные технологические операции, заимствованные из зарубежной практики и частично из отечественных технологических процессов. Кроме термодинамического и кинетического анализов многих технологических процессов, большое внимание уделено материаловедческому подходу при рассмотрении этих процессов с целью управления наиболее важными характеристиками с учетом основной зависимости состав – структура – свойства материалов.

Авторы весьма признательны преподавателям и сотрудникам кафедры «Физико-химические основы технологии микроэлектроники» МИЭТ — доцентам А. И. Бутурлину и Л. А. Ермолаеву, ассистенту В. П. Пугачевичу, научным сотрудникам В. И. Шарапову, О. И. Чегновой и другим сотрудникам, оказавшим большую помощь в подготовке рукописи к изданию. Авторы признательны коллективу кафедры физической химии и технологии полупроводников МИСиС за рецензирование рукописи, а также профессорам В. М. Глазову, В. И. Фистулю, В. В. Крапухину за обсуждение отдельных разделов и критические замечания.

Поскольку учебное пособие является первой попыткой издания книги подобного типа, то авторы будут весьма признательны всем, кто выскажет свои критические замечания о ее содержании.

 


ВВЕДЕНИЕ

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector