Температура подложки, подвергаемой плазменному травлению

Поскольку с повышением ВЧ – мощности разряда растут Tэ и nэ скорость травления также увеличивается (рис.6 д).

Зависимость скорости травления диоксида кремния от давления носит более сложный характер ). При относительно низких давлениях, когда kTэ становится больше Едис и exp (-Eдис/kTэ) стремится к единице, дальнейшее понижение давления приводит к снижению GХАЧ, поскольку уменьшение nг и nэ и увеличение lэ преобладают над ростом Tэ. При относительно высоких давлениях, когда энергия диссоциации молекул рабочего газа меньше kTэ, дальнейший рост давления приводит к уменьшению скорости генерации ХАЧ за счет множителя exp (-Eдис/kTэ). Таким образом, на зависимости vтр. = f (P) при различных расходах газа и постоянной ВЧ – мощности наблюдаются максимумы.

Увеличение расхода рабочего газа Q вначале способствует эффективной доставке молекул рабочего газа в зону ВЧ – разряда, повышению стационарной концентрации ХАЧ, а, следовательно, скорости травления (см. рис.6 а). Однако при дальнейшем увеличении Q время нахождения ХАЧ у поверхности обрабатываемого диоксида кремния становится настолько малым, что большая часть ХАЧ удаляется из объема рабочей камеры откачными средствами, не вступив в реакцию с SiO2.

Как видно из рисунка 6 г, важен выбор не только активного газа, но и добавок к нему, которые, не принимая непосредственного участия в травлении диоксида кремния, могут значительно изменить коэффициент использования газа. Так, небольшие добавки кислорода сперва приводят к росту скорости травления, а при дальнейшем увеличении содержания кислорода vтр. уменьшается пропорционально его концентрации в SF6.

Температура подложки, подвергаемой плазменному травлению, тоже влияет на скорость травления SiO2 в).

При плазменном травлении диоксида кремния, рост интенсивности ионной бомбардировки при увеличении ВЧ – мощности приводит к увеличению селективности по отношению к фоторезисту за счет большей зависимости скорости травления SiO2 от энергии ионов

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector