В связи с этим, в последнее время возрос интерес к изотропным плазменным процессам травления

В связи с этим, в последнее время возрос интерес к изотропным плазменным процессам травления, как альтернативе жидкостного травления [1]. Это связано, в первую очередь, с необходимостью формирования в межслойном диэлектрике контактных окон со сглаженными краями, что позволяет обеспечивать надежность разводки и увеличение, таким образом, выхода годных СБИС. Наиболее перспективным способом формирования таких контактных окон является сочетание изотропного травления с последующим анизотропным травлением через одну и туже фоторезистивную маску в едином технологическом цикле.

Поэтапное формирование изотропно – анизотропного профиля контактного окна показано на

 

Поэтапное формирование изотропно – анизотропного профиля контактного окна

Для реализации процесса сухого изотропного травления необходимо использование источника плазмы с высокой плотностью нейтральных химически активных частиц (ХАЧ) при минимальном воздействии заряженной компоненты плазмы на поверхность подложки.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector