.Проектные нормы. Способы задания размеров и допусков

Понятие проектных норм.

Проектные нормы в широком смысле включают документацию с информацией следующего вида:

— последовательность формирующих операций используемого базового технологического процесса;

— набор конструктивных элементов реализуемых данным технологическим маршрутом;

— минимальные топологические размеры, допуски по слоям масок и ограничения на размеры (проектные нормы в узком смысле слова)

— рекомендации по проведению межсоединений на всех предусмотренных уровнях;

— стандартные наборы топологических заготовок (пример: чертежи контактных площадок для ввода — вывода информации, входные и выходные буферы, структуры защиты от электростатических разрядов и тиристорных защелок, тестовые структуры);

— электрические характеристики (удельные) реализуемых в данной технологии элементов;

— рекомендации и ограничения на количество внешних выводов, все ограничения «сверху» (максимум).

Существуют два подхода для задания проектных норм:

Проектные нормы в узком смысле слова могут задаваться

— в абсолютных единицах (микроны),

— в относительных единицах.

 

Вопрос 42.Основы лямбда-проектирования. Правила проектирования Мида – Конвей.

Мид и Конвей предложили использовать относительные единицы. Было предложено использовать некоторую величину, которая бы помогла в измерении размеров.

Относительная единица λ определяется как максимальная величина случайного смещения реального расположения элементов топологии. Тогда минимальный воспроизводимый размер должен быть не меньше 2 λ.

Упрощенная формализованная топологическая схема ИС:

— шины межсоединений.

— транзисторы

— контакты

Шины могут быть реализованы в 1 из 3х вариантов:

— диффузионная область;

— поликремний;

— слой металлизации.

При выборе типа шины учитывают особенности:

            диффузионные шины имеют наибольшую удельную паразитную ёмкость,

            поликремневые и диффузионные шины имеют большее сопротивление, чем металл.

В большинстве случаев для межсоединений  используют металлические шины.

Поликремний используется в качестве затворов транзисторов или подныров, если необходимо обеспечить пересечение в металле.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector