За прошедшее время были разработаны методы возбуждения и приема волн

За прошедшее время были разработаны методы возбуждения и приема волн, отражения, волноводного распространения, фокусировки и усиления, предложены способы получения заданных дисперсионных характеристик. Эти методы основаны на различных физических явлениях.

Весьма плодотворным оказалось использование пьезоэлектрических материалов, с тем различием, что звукопроводом ПАВ обычно является также пьезоэлектрик. Распространение поверхностной акустической волны в пьезоэлектрическом материале сопровождается возникновением электрического поля, локализованного вблизи поверхности. Это позволяет возбудить ПАВ, прикладывая напряжение к решетке из металлических электродов, расположенной на поверхности. Такую электродную решетку называют встречно-штыревым преобразователем (ВШП). Такой преобразователь может быть также использован для приема поверхностных акустических волн и создания на выходе электрического сигнала. Структура представляет собой просто пьезоэлектрический звукопровод, на поверхность которого нанесена металлическая пленка соответствующей конфигурации. Благодаря простоте этой структуры и доступности технологических приемов изготовления почти во всех устройствах на ПАВ используются пьезоэлектрические материалы. Обычно выбор останавливают на монокристаллах, чаще всего на кварце или ниобате лития, что обеспечивает низкое затухание волн.

Наряду с прямым использованием пьезоэффекта можно применять ряд других принципов. В некоторых устройствах канавки, вытравленные на поверхности подложки, отражают волны или образуют волновод. Нанесение диэлектрических пленок позволяет реализовывать требуемые законы дисперсии или создавать волноводы. Кроме того, можно сначала нанести пьезоэлектрическую пленку, например из оксида цинка (), а затем изготовить металлические электроды на ее поверхности. За счет этого удается

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector