Конструкция и принцип работы установки

Работа проводится на лабораторной нестандартной установке. Центрифуга (рис.4) смонтирована в унифицированном столе, который встроен в стандартную пылезащитную камеру с вертикальным потоком обеспыленного воздуха. Стекла камеры окрашены в оранжевый цвет, не пропускающий излучения УФ-диапазона, чем предотвращается засвечивание фоторезиста. В столе установки имеется решетка, к которой подсоединяется воздуховод для отсоса испаряющихся из фоторезиста паров растворителя. Воздуховод подключается к вытяжной централизованной вентиляции.

 

Основным узлом центрифуги является ее модуль (рис.5). Модуль состоит из шпинделя 1, установленного в подшипниках 2, из втулки 3, маховика 4, установленного в подшипниках 5, корпуса 6, имеющего окна для сцепления маховика ременной передачей с валом двигателя, малоинерционного диска 7, который расположен на шпинделе и может  перемещаться вдоль него по шлицам. Кроме того, для сцепления малоинерционного диска с маховиком, в который установлено фрикционное кольцо 8, предусмотрена кольцевая мембрана 9, взаимодействующая с толкателями 10 и наружным кольцом подшипника 11. Полость 12 соединена с магистралью сжатого воздуха через управляемый клапан 13 и стабилизатор давления 14. Нижний конец шпинделя входит в вакуумную камеру 15, укрепленную в корпусе 6, не касаясь ее стенок. Вакуумная камера имеет лабиринтные уплотнения и соединена трубопроводом с вакуумным насосом через клапан 16. На верхнем конце шпинделя  установлен патрон 17, на котором укладывается подложка. Пружина 18 служит для прижима малоинерционного диска к тормозному кольцу 19, укрепленному в корпусе.

Сцепление малоинерционного диска с маховиком может осуществляться также сообщением полости 12 с атмосферой и соединением полости 20 с вакуумной системой через клапан 21.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector