Вентилятор забирает воздух из помещения через фильтр

 Вентилятор забирает воздух из помещения через фильтр предварительной очистки (пенополиуретановую прокладку), который очищает воздух от частиц размером более 5мкм. От вентилятора воздух поступает по воздуховоду в фильтр тонкой очистки, представляющий собой рамочную конструкцию, в которой фильтрующая перегородка выполнена на сепараторах из гофрированных полимерных листов с уложенными на них слоями фильтрующего материала ФПП-15-1,7 (фильтр Петрянова перхлорвиниловый, диаметр волокон 0,15 мкм, гидравлическое сопротивление 17 Па). Воздух в рабочем объеме сменяется в среднем 1500 раз в час, что требует применения вентилятора с производительностью около 600 м3/ ч.

В результате высокоэффективного фильтрования воздуха содержание аэрозолей в нем не превышает 3-4 частиц размером 0,5 мкм. После пуска вентилятора пылезащитной камерыи время обеспыливания ее рабочего объема  не превышает 1 мин, а при предварительной влажной протирке внутренних поверхностей камеры составляет несколько секунд. Очищенный воздух, пройдя рабочее пространство, возвращается из камеры через приоткрытую переднюю стенку в помещение. Однако такая схема камеры допустима только в том случае, если при выполнении операции не выделяются пары кислот, щелочи и т.д. При наличии подобных выделений воздух в камере должен отводиться в технологическую вытяжную вентиляцию. Отвод воздуха осуществляется через решетку, встроенную в столешницу рабочего стола.

В верхней зоне камеры установлены люминесцентные лампы, от которых происходит освещение рабочего объема камеры. В пылезащитных камерах, предназначенных для проведения фотолитографических процессов, освещение рабочего объема камеры происходит через светофильтры. Для этого используются органическое стекло (или стеклоэфиропласт), окрашенное в красный или оранжевый цвет для предотвращения засвечивания фоторезиста

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector