Содержание аэрозолей

Содержание аэрозолей – наиболее важный показатель качества воздушной атмосферы. Во многих случаях при определении пригодности атмосферы для того или иного технологического процесса прежде всего исходят из ее запыленности.

на пылинка, попавшая на структуру ИС в процессе ее изготовления,  может привести к изменению параметров того или иного дискретного элемента ИС, что повлечет за собой изменение параметров или выход из строя схемы. При высокой степени интеграции ИС определяющим фактором при оценке вредного влияния аэрозольных частиц, находящихся в воздухе, является не только размер частиц, но и количество частиц в единице объема рабочей атмосферы – объемная плотность. При этом имеется в виду, что пылинки оказывают наибольшее влияние на выход годных ИС в том случае, когда геометрические размеры отдельных элементов ИС соизмеримы с размерами пылинок (критичные размеры – не менее 0,3мкм). Другой оценкой влияния пылинок может являться поверхностная плотность. Связь объемной плотности с количеством осевших на поверхность изделия частиц определяется множеством факторов, в том числе характером аэрозоля, чистотой обработки поверхности, величиной и направлением скорости перемещения изделия и потоков воздуха. В общем случае можно утверждать, что поверхностная плотность запыленности возрастает с увеличением объемной плотности частиц аэрозолей.

Кроме рассмотренных, имеются и другие подходы к оценке влияния аэрозолей (в виде твердых частиц). Например, для процесса фотолитографии ограничение допустимой величины частиц аэрозолей устанавливается исходя из сравнения размеров частиц с толщинами пленок фоторезиста, допустимыми неровностями края и др.

По существующему стандарту ОСТ  II.050.00I-78 запыленность атмосферы оценивается по количеству частиц размером 0,5 мкм и более в единице объема воздуха; в зависимости от этого установлено 6 классов помещений (табл. I). 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector