Характеристики технологических сред и технических средств очистки рабочих объемов

1.       К работе на лабораторной установке допускаются студенты, прошедшие инструктаж по технике безопасности и ознакомившиеся с порядком пуска, проведения испытания и выключения установки.

2.      Запрещается без разрешения преподавателя пуск установки в работу.

3.      Запрещается пуск установки, если при внешнем осмотре установки обнаружено: обрыв электропроводов, разъединение шлангов или трубопроводов, утечка рабочей жидкости, неисправность контрольно-измерительных приборов, наличие посторонних предметов на установке.

Пуск установки разрешается только после устранения обнаруженных   неисправностей.

4.      При появлении во время работы лабораторной установки  посторонних   шумов, вибраций и других технических нарушений немедленно остановить работу установки.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Лабораторная работа №1.

Изучение конструкции пылезащитной камеры и измерение запыленности рабочего объема.

Цель работы:

1)изучить конструкцию пылезащитной камеры, фильтров тонкой очистки;

2)изучить принцип действия прибора контроля запыленности – счетчика аэрозольных частиц  АЗ-2М;

3)провести измерение , анализ запыленности и эффективность работы пылезащитной камеры.

Продолжительность работы – 4 часа.

 

Теоретические сведения

Характеристики технологических сред и технических

средств очистки рабочих объемов.

Технологической средой называют среду, наличие которой является обязательным условием для проведения данного технологического процесса и параметры которой должны быть строго определены.

В соответствии с физико-химическими свойствами и выполняемыми функциями, технологические среды  можно разделить на газовые, жидкие и вакуум.

В производственном технологическом цикле изготовления ИС пластины, кристаллы, химические реактивы и другие материалы длительное время находятся в газовой среде — воздушной атмосфере. Из многочисленных параметров, характеризующих воздушную атмосферу производственных помещений и рабочих объемов, наибольшее влияние на технологические процессы оказывают запыленность воздуха (содержание в нем аэрозолей – примесей в виде твердых частиц, газов и паров жидкости), температура и влажность воздуха. Параметры воздушной атмосферы должны удовлетворять и санитарно-гигиеническим требованиям, необходимым для нормальной работы операторов, обслуживающих установки и выполняющих технологические операции

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector