Получить оптический эмиссионный спектр плазмы

1.             Включить компьютер. На одном из дисков (указанном преподавателем) в директории QUARTZ DEM (в среде DOS) либо на DESCTOP в среде WIN98  запустить программу A _SPECTR.

2.             Войти в меню FILE/LOAD_SPECTRUM и загрузить демонстрационный спектр для ознакомления с возможностями редакторов спектров. Пользуясь редактором через меню VIEW/SCAN/DETALIZE/UNDO просканировать спектр. Выделить 10 наиболее интенсивных атомных спектральных линий экспериментального спектра. Измерить их длины и интенсивности. Провести идентификацию компонентов плазмы, используя данные приложения 1, с учетом возможного приборного спектрального сдвига (0,1 – 0,5 нм).

3.             Для получения оптического эмиссионного спектра плазмы неизвестного инертного газа и идентификации его компонентов на панели SPECTROMETRY нажать кнопку START. Программа выполнит имитацию съемки спектра заранее неизвестного пользователю инертного газа, случайным образом выбранного из базы данных. Используя операции, описанные в п.2, получить оптический эмиссионный спектр плазмы неизвестного инертного газа и идентифицировать его компоненты.

4.             Для получения оптического эмиссионного спектра ВЧ-плазмы смеси газов SF6 + Ar и идентификации эмиссионных линий, отвечающих оптическим переходам радикалов фтора и атомов аргона выполнить операции аналогичные п.3. Однако для «съемки» спектра необходимо нажать кнопку STB.

5.             Для определения концентрации химически активных компонентов плазмы в ВЧ-реакторе реактивного ионного травления методом оптической актинометрии необходимо использовать панель ACTINOMETRY программы. В графическом окне программы должен находиться спектр фторсодержащей плазмы в смеси с аргоном. Войти в меню ACTINOMETRY/CONDITION I /WAVELENGTH/ и при помощи редактора спектров установить выбранные длины волн актинометрической пары. (Неверное задание какой-либо из длин волн блокирует дальнейшее выполнение программы). Выйти из меню /CONDITION I. Нажать кнопку START на панели ACTINOMETRY. В случае правильного выбора длин волн актинометрической пары в графическом окне программы появятся «измеряемые» данные концентрации активных радикалов в плазме в зависимости от времени процесса.

6.             Выход из программы осуществляется при помощи пункта меню EXIT.

7.             Оформить отчет.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector