Актинометрический коэффициент

Актинометрический коэффициент для различных фторсодержащих газов при малых и средних давлениях в плазме находится в диапазоне Кact=1,5-2,0 , что вносит основную погрешность в конечный результат. Для газа SF6, используемого в предлагаемом моделируемом эксперименте, литературные данные дают значение 1,5.

Таким образом, добавив в исследуемую фторсодержащую плазму 1-2% Аr, что существенно не влияет на электронную плотность в плазме, можно приступить к определению концентрации радикалов фтора (F).

Од­нако перечисленные выше спектральные методы позволяют измерять только относительные интенсивности, а абсолютное количественное измерение концентрации активных частиц в плазме с помощью эмиссионной спектроскопии остается весьма трудным и требует специальной аппаратуры.

Методически актинометрические измерения проводятся при квазиодновременном измерении интенсивностей пары линий Аrи Fи дальнейшем вычислением по основному актинометрическому соотношению (8) концентрации радикалов фтора. Задавая в программе-симуляторе условия проведения актинометрических измерений, следует учитывать неидеальность калибровки спектрометра по длинам волн, а также его конечное спектральное разрешение. Спектральный сдвиг прибора определяется при идентификации какого-либо известного спектра. Для корректных актинометрических измерений  проводится измерение не абсолютных значений, а интегральной интенсивности регистрируемых спектральных линий, причем границы полос интегрирования задаются. Измеренные интенсивности на левой и правой границе интегрирования спектральной линии измеряются, что позволяет вычленить сигнал интересующих спектральных переходов от возможных совпадающих по длинам волн молекулярных полос континуального характера в плазме сложного состава.

В данной лабораторной работе измерение плотности радикалов фтора в реакторе происходит во время реактивного ионного травления микроэлектронной многослойной структуры: поликристаллический кремний – диоксид кремния – монокристаллический кремний. Во время процесса травления происходит послойное  удаление материала вследствие химической реакции радикалов фтора с кремнием и его оксидом с переводом продуктов  реакции в газообразное состояние. Скорость реакции с диоксидом кремния существенно ниже, чем с чистым кремнием. Поэтому скорость гетерогенной гибели

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector