Спектроскопический анализ

Спектроскопический анализ излучения плазмы является широко распространенным методом диагностики процессов полупроводниковой технологии. Основное преимущество этого метода состоит в том, что излучение тлеющего разряда может наблюдаться и вне реакционной камеры через кварцевые или стеклянные окна без вмешательства в химические процессы, происходящие внутри камеры. Применения зондов или заборников, которые могли бы вызвать возмущения в реакционной камере, не требуется.

Другим достоинством метода эмиссионной спектроскопии является хорошо разработанная научная основа. Спектроскопический анализ зародился еще в прошлом веке одновременно с разработкой систем тлеющего разряда. Эмиссионные спектры атомов и молекул описаны в многочисленных изданиях, наилучшими из которых являются каталоги по молекулярным и атомным спектрам. Таким образом, анализ эмиссионных спектров может опираться на обширные литературные данные, полученные в этой области науки за последнее столетие.

Аппаратура для спектроскопического анализа инфракрасной, видимой и ближней ультрафиолетовой областей спектра может быть довольно простои. Как показано на рисунке 1, спектрометр состоит из монохроматора, детектора, фотоумножителя с необходимой электроникой, и записывающего устройства, такого, как самописец.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector