Устройство и работа блока совмещения

Блок совмещения  предназначен для транспортировки полупроводниковых пластин, их предварительной ориентации, переноса пластин из зоны ориентации в зону совмещения, выравнивания пластин по отношению к фотошаблону, образования рабочих зазоров совмещения между пластиной и фотошаблоном, получения надежного контакта пластины и фотошаблона, обеспечения точных перемещений как пластины, так и фотошаблона в продольном и поперечном направлениях и по углу, а также для предварительного ориентирования пластин и фотошаблонов совместно по отношению к микроскопу совмещения.

Все узлы и детали блока совмещения смонтированы на литом корпусе 1.

На верхней плоскости корпуса, в средней его части, закреплены опоры 2, на которых установлен манипулятор 3 со смонтированными на нем блоком загрузки 11 и шаблонодержателем 12.

 

 

Рис. 2. Блок совмещения установки ЭМ-576

 

На поворотном диске манипулятора закреплен механизм вертикальных перемещений 13, на сфере которого смонтирован рабочий столик 14.

Слева на литом корпусе на четырех шаровых опорах 7 смонтирован механизм перемещения кассет 8, соединенный с корпусом манипулятора пружинами 9.

Манипулятор с закрепленными на нем механизмами и механизм перемещения кассет имеют возможность перемещаться ручкой 10 с помощью воздушной подушки, создаваемой опорами 2, направленное движение их обеспечивается направляющими 4 и 5 и оператором 6.

Слева в задней части корпуса крепится панель клапанов 16, справа предусмотрено место для установки пульта управления. Спереди, на боковой стенке корпуса крепится панель 15.

 

Определение неравномерности освещенности рабочего поля при экспонировании

По техническим требованиям неравномерность освещенности рабочего поля диаметром 100 мм должна быть не более 7 %.

Методика проверки заключается в следующем:

а) в плоскость экспонирования установить экран с отверстиями;

б) подключить фотодиод к микроамперметру;

в) поочередно устанавливая фотодиод в свободные отверстия, измерить распределение освещенности в относительных единицах (ток фотоприемника);

г) расчет неравномерности освещенности провести по формуле

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector