Работа установки заключается в перенесении изображений фотошаблона

Работа установки заключается в перенесении изображений фотошаблона на полупроводниковую пластину методами контактного экспонирования и экспонирования с зазором.

На фотошаблоне имеются прозрачные и непрозрачные элементы, которые по специальным знакам совмещаются с соответствующими элементами на полупроводниковой пластине.

2.2. Фотошаблон устанавливается по трем жестким упорам на плиту шаблонодержателя, фиксируется вакуумом и ориентируется при помощи манипулятора шаблонодержателя таким образом, чтобы знаки совмещения на фотошаблоне находились в поле зрения объективов микроскопа совмещения.

2.3. Полупроводниковая пластина из подающей кассеты по пневмодорожке поступает на столик предварительной ориентации, где с помощью специального устройства ориентируется по боковому срезу и диаметру.

2.4. По окончании ориентации столик предварительной ориентации поднимается вверх до калибратора, пластина прихватывается вакуумом к калибратору, который вместе с пластиной перемещается в зону совмещения.

Рабочий столик вместе с калибратором и полупроводниковой пластиной поднимается вверх механизмом вертикальных перемещений до упора калибратора в фотошаблон, в результате чего происходит передача пластины с калибратора на рабочий столик (т.е. вакуум с калибратора отключается и подается на рабочий столик) и выравнивание полупроводниковой пластины в плоскости, параллельной рабочей  плоскости фотошаблона, отстоящей от него на толщину калибратора.

2.5. Рабочий столик с полупроводниковой пластиной возвращается в исходное положение, а калибратор — в зону предварительной ориентации.

2.6. Рабочий столик с полупроводниковой пластиной опять поднимается вверх и останавливается на определенном расстоянии от фотошаблона, соответствующем заранее установленному зазору.

2.7. Совмещение рисунков фотошаблона и полупроводниковой пластины производится манипулятором совмещения, наблюдение за процессом совмещения выполняется через микроскоп.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector