Конструирование механизмов

Конструирование механизмов для осуществления плавных перемещений на расстояния менее 1 мкм представляет особые трудности. В таких прецизионных механизмах обычно возникают автоколебания, проявляющиеся в прерывистом движении ведомого звена приводного механизма при равномерном движении. Эти явления ограничивают возможности осуществления плавных перемещений.

Механизмы совмещения должны отвечать следующим требованиям:

1) возможность осуществлять плавное поступательное перемещение со скоростью в пределах допустимой погрешности совмещения или шаговое перемещение с шагом не более 0,5 допуска на совмещение. Например, при допустимой погрешности совмещения
1 мкм минимальная осуществимая скорость перемещения должна быть около 1 мкм/с или шаговое перемещение не более 0,5 мкм;

2) неравномерность перемещения ведомого звена не должна превышать 10 % при равномерном движении приводного звена;

3) фиксация ведомого звена после прекращения приводного воздействия должна осуществляться со смещением не более 0,1 допустимой погрешности совмещения;

4) должна соблюдаться независимость поступательного перемещения и поворота и независимость прямолинейных перемещений по двум взаимно перпендикулярным направлениям.

Экспонирование производится от источника УФ-света — лампы типа ДРШ-500 (или ДРШ-250). Лампа имеет высокоинтенсивное сосредоточенное светящееся пятно, излучающее спектр (близкий к линейчатому) с пятью основными пиками в диапазоне длин волн от 350 до 600 нм, что перекрывает область наибольшей чувствительности фоторезистов.

Следует отметить, что ртутно-кварцевая лампа ДРШ стабильно работает (в установившемся режиме) через 15 — 20 мин после включения.

Выбор экспозиции осуществляется опытным путем. Зависимость размеров фотоизображения от времени экспозиции можно использовать для устранения некоторых

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector