Кратко опишите конструкцию и порядок работы центрифуги.

Какие основные требования предъявляются к операции нанесения пленок фоторезиста на центрифуге?

2. Кратко опишите конструкцию и порядок работы центрифуги.

3. Какой принцип заложен в конструкцию модуля центрифуги для обеспечения быстрого разгона?

4. Дайте краткое описание процесса пленкообразования и зависимость толщины пленки при центрифугировании.

5. Как влияет доза фоторезиста и продолжительность центрифуги-рования на толщину пленки?

6. Какое влияние оказывает время разгона центрифуги на процесс пленкооброзования?

7. Какие факторы влияют на вязкость (концентрацию) раствора фоторезиста и какие требования должны выполняться при конструировании дозаторов.

8. Объясните расхождение значений толщины пленки, полученных измерением и расчетным путем.

9. Какова причина образования краевого валика на подложке?

10. Какова причина образования утолщенных областей фоторезиста на подложках некруглой формы?

11. Какова производительность центрифуги и какие имеются возможности по ее повышению?

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector