изучить конструкцию установки

Рекомендуется следующий порядок выполнения работы:

1) изучить конструкцию установки, ее основные узлы, систему управления и регулирования;

2) ознакомиться с порядком работы на установке;

3) ознакомиться с методикой измерения толщин пленок на микроскопе МИИ-4 (по инструкции к пользованию МИИ-4); включить микроскоп;

4) получить от преподавателя задание на проведение операций нанесения пленок на установке;

5) подключить установку к электросети, магистрали сжатого воздуха, форвакуумной системе;

6) провести нанесение пленок на подложки при различных режимах центрифугирования (заданных частотах вращения, с быстрым и медленным разгоном центрифуги). При обращении с раствором фоторезиста соблюдать требования безопасной работы с токсичными веществами;

7) нанести иглой риски на пленки фоторезиста, не повреждая поверхности подложек. Риски необходимы для измерения на микроскопе МИИ-4 толщины пленки, т.е. ступеньки пленка — подложка;

8) измерить на МИИ-4 толщины пленок на каждой подложке не менее чем по три раза в каждой из трех точек: одной — в центре подложки, двух — на периферии подложки;

9) произвести расчеты толщин пленок;

10) результаты расчетов и измерения свести в следующую форму таблицы:

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector