Принцип работы центрифуги по нанесению пленок фоторезиста

Принцип работы центрифуги по нанесению пленок фоторезиста на подложки заключается в следующем. Подложка укладывается на патрон 17, открывается клапан 16, через вакуумную камеру 15 в центральном канале шпинделя происходит отсос воздуха и подложка плотно прижимается к поверхности патрона.

От включенного электродвигателя через ременную передачу разгоняется маховик до заданной скорости. После того как на подложку подана доза раствора фоторезиста, включается клапан 13, и сжатый воздух, поступая в полость 12, воздействует на кольцевую мембрану 9, которая передает движение на толкатели 10. Толкатели, упираясь внаружное кольцо подшипника 11, сцепляют малоинерционный диск 7 с маховиком 4. При этом происходит быстрый разгон шпинделя до заданного числа оборотов маховика. По истечении времени, необходимого для растекания и подсыхания фоторезистивной пленки, клапаном 13 выключается подача сжатого воздуха и под действием пружины 18 происходит расцепление малоинерционного диска с маховиком. Малоинерционный диск тормозится за счет трения о тормозное кольцо 19, и шпиндель останавливается. Затем закрывается клапан 16 и соответственно прекращается отсос воздуха из центрального канала шпинделя. Подложка с нанесенной на ней пленкой фоторезиста снимается с патрона 17.

Управление работой центрифуги осуществляется с помощью тумблеров на пульте, вмонтированном в переднюю стенку стола установки. Запуск электродвигателя центрифуги, срабатывание электроклапана для вакуумного присоса подложек на патроне центрифуги и электроклапана в магистрали сжатого воздуха для включения пневмомуфты производятся включением соответствующих тумблеров.

Давления в магистралях сжатого воздуха (0,15 ¸ 0,2)×106 Па и форвакуума 8×103 Па контролируются соответственно по манометру и вакуумметру, размещенным на столе установки. Частота вращения шпинделя центрифуги задается поворотом ручки управления по градуированной (в об/мин) шкале, расположенной на столе установки.

Особенность данной конструкции модуля центрифуги состоит в достижении большого ускорения шпинделя в период пуска и обеспечении стабильности скорости его вращения благодаря использованию большой массы вращающегося маховика. Запись осциллограмм, производившаяся по схеме с фотодиодным датчиком на светолучевом осциллографе, показала, что время разгона составляет 1,1×10с.

На основе рассмотренных модулей центрифуг разработан и изготавливается в промышленности полуавтомат нанесения фоторезиста (ПНФ).

Лабораторное задание

1. Изучить принцип работы и конструкцию модуля центрифуги.

2. Изучить порядок работы на установке и произвести нанесение пленок фоторезиста на подложки.

3. Рассчитать толщины пленок фоторезиста и провести анализ результатов расчета с данными, полученными при измерении пленок.

4. Оценить влияние режимов центрифугирования на параметры пленки.

Оборудование, приборы и материалы

Для выполнения работы необходимы следующее оборудование и материалы:

1)       лабораторная установка (центрифуга) нанесения фоторезиста;

2)       микроскоп МИИ-4 (с инструкцией к пользованию);

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector