Описание конструкции и принцип работы камеры

Конструкция пылезащитной камеры имеет следующие узлы:

1        — нагнетатель воздуха, состоящий  из  электродвигателя,  вентилятора  и  гибкого  воздуховода, выполненного из полиэтиленовой пленки толщиной 0,5 мм;

2        — фильтр, состоящий из предфильтра (для предварительной очистки от крупных частиц) и фильтра тонкой очистки воздуха;

3        — светильник  с  люминесцентными лампами  и  светофильтром  ( для  фотолитографических процессов);

4        — электрический  блок  питания  и  панель управления  для  нагнетателя  воздуха  и  светильника.

В нагнетателе электродвигатель установлен на амортизаторы для уменьшения шума и вибрации.

 Вентилятор забирает воздух из помещения через фильтр предварительной очистки (пенополиуретановую прокладку), который очищает воздух от частиц размером более 5мкм. От вентилятора воздух поступает по воздуховоду в фильтр тонкой очистки, представляющий собой рамочную конструкцию, в которой фильтрующая перегородка выполнена на сепараторах из гофрированных полимерных листов с уложенными на них слоями фильтрующего материала ФПП-15-1,7 (фильтр Петрянова перхлорвиниловый, диаметр волокон 0,15 мкм, гидравлическое сопротивление 17 Па). Воздух в рабочем объеме сменяется в среднем 1500 раз в час, что требует применения вентилятора с производительностью около 600 м3/ ч.

В результате высокоэффективного фильтрования воздуха содержание аэрозолей в нем не превышает 3-4 частиц размером 0,5 мкм. После пуска вентилятора пылезащитной камерыи время обеспыливания ее рабочего объема  не превышает 1 мин, а при предварительной влажной протирке внутренних поверхностей камеры составляет несколько секунд. Очищенный воздух, пройдя рабочее пространство, возвращается из камеры через приоткрытую переднюю стенку в помещение. Однако такая схема камеры допустима только в том случае, если при выполнении операции не выделяются пары кислот, щелочи и т.д. При наличии подобных выделений воздух в камере должен отводиться в технологическую вытяжную вентиляцию. Отвод воздуха осуществляется через решетку, встроенную в столешницу рабочего стола.

В верхней зоне камеры установлены люминесцентные лампы, от которых происходит освещение рабочего объема камеры. В пылезащитных камерах, предназначенных для проведения фотолитографических процессов, освещение рабочего объема камеры происходит через светофильтры. Для этого используются органическое стекло (или стеклоэфиропласт), окрашенное в красный или оранжевый цвет для предотвращения засвечивания фоторезиста

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector