Характеристики технологических сред и технических средств очистки рабочих объемов

Технологической средой называют среду, наличие которой является обязательным условием для проведения данного технологического процесса и параметры которой должны быть строго определены.

В соответствии с физико-химическими свойствами и выполняемыми функциями, технологические среды  можно разделить на газовые, жидкие и вакуум.

В производственном технологическом цикле изготовления ИС пластины, кристаллы, химические реактивы и другие материалы длительное время находятся в газовой среде — воздушной атмосфере. Из многочисленных параметров, характеризующих воздушную атмосферу производственных помещений и рабочих объемов, наибольшее влияние на технологические процессы оказывают запыленность воздуха (содержание в нем аэрозолей – примесей в виде твердых частиц, газов и паров жидкости), температура и влажность воздуха. Параметры воздушной атмосферы должны удовлетворять и санитарно-гигиеническим требованиям, необходимым для нормальной работы операторов, обслуживающих установки и выполняющих технологические операции.

Содержание аэрозолей – наиболее важный показатель качества воздушной атмосферы. Во многих случаях при определении пригодности атмосферы для того или иного технологического процесса прежде всего исходят из ее запыленности.

на пылинка, попавшая на структуру ИС в процессе ее изготовления,  может привести к изменению параметров того или иного дискретного элемента ИС, что повлечет за собой изменение параметров или выход из строя схемы. При высокой степени интеграции ИС определяющим фактором при оценке вредного влияния аэрозольных частиц, находящихся в воздухе, является не только размер частиц, но и количество частиц в единице объема рабочей атмосферы – объемная плотность. При этом имеется в виду, что пылинки оказывают наибольшее влияние на выход годных ИС в том случае, когда геометрические размеры отдельных элементов ИС соизмеримы с размерами пылинок (критичные размеры – не менее 0,3мкм). Другой оценкой влияния пылинок может являться поверхностная плотность. Связь объемной плотности с количеством осевших на поверхность изделия частиц определяется множеством факторов, в том числе характером аэрозоля, чистотой обработки поверхности, величиной и направлением скорости перемещения изделия и потоков воздуха. В общем случае можно утверждать, что поверхностная плотность запыленности возрастает с увеличением объемной плотности частиц аэрозолей.

Кроме рассмотренных, имеются и другие подходы к оценке влияния аэрозолей (в виде твердых частиц). Например, для процесса фотолитографии ограничение допустимой величины частиц аэрозолей устанавливается исходя из сравнения размеров частиц с толщинами пленок фоторезиста, допустимыми неровностями края и др.

По существующему стандарту ОСТ  II.050.00I-78 запыленность атмосферы оценивается по количеству частиц размером 0,5 мкм и более в единице объема воздуха; в зависимости от этого установлено 6 классов помещений (табл. I). 

 

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector