Химико-механическая обработка кремниевых структур

Обработка нанесенного слоя порошка стекла при температуре 12000С в течение 15 мин приводит к образованию на подложках кремния однородных по составу диэлектрических слоев. В этих же режимах проводится процесс сращивания опорной и приборной пластин с нанесенным слоем стекловидного диэлектрика. Для этой цели следует использовать печь с электронным управлением. Блок электронного управления должен быть изолирован от рабочей части печи для исключения перегрева электронных схем. Внешняя оболочка печи должна быть сварная из листов металла. Изоляция должна быть рассчитана на исключение перегрева внешнего контура при длительных нагревах до температур 12000С.

В термической печи необходимо использовать PtRo термопару, рассчитанную на большие рабочие температуры, по сравнению с CrAl. В качестве задатчика температур оптимально использование системы РИФ-101, состоящего из управляющего и силового блоков. Интенсивность нагрева в этом случае может варьироваться в широком интервале температур.

Химико-механическая обработка кремниевых структур

Существуют многочисленные варианты утончения рабочей пластины в сращенной структуре. Для этого используют методы химико-механического полирования, электрохимического, плазменного, селективного химического травления, а также комбинации этих и ряда других методов (рисунок 10.1).

 

 

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector