LIGA-технология

LIGA-технология. Сущность процесса формирования объемных структур заключается в активном использовании рентгеновского излучения от синхротрона для получения глубоких, с отвесными стенками, топологических картин в полимерном материале (рентгенорезисте). Синхротронное излуче­ние имеет сверхмалый угол расходимости пучка (0,006°), то есть фактичес­ки формируется пучок параллельных лучей. Глубина проникновения излуче­ния, источником которого являются

высокоэнергетические электроны (Е > 1 ГэВ), движущиеся с релятивистскими скоростями, достигает единиц миллиметров. За счет локализации излучения в узком телесном угле яркость источников синхротронного излучения в 10е больше, чем у стандартных источников рентгеновского излучения и плотность мощности достигает 105 — 10е Вт/см2, что определяет высокую эффективность экспонирования в условиях малых временных затрат.

После формирования в полимерном материале объемной структуры осуществляется операция электрохимического осаждения металла, например, гальванического никеля, в образовавшуюся полость в полимере. Следующим этапом является удаление полимера с сохранением на поверхности субстрата объемного металла определенной топологии. Далее над металлической матрицей размещается штамповочная плита и через отверстие в ней вводится пластик. Металлический штамп удаляется для дальнейшего использования при получении других пресс-форм. Следующий этап характеризуется нанесением гальванического покрытия в ранее сформированную пластиковую форму, после чего пластик вытравливается, освобождая объемную металлическую структуру.

Возможность многократного тиражирования за счет интегральных принципов обработки позволяет изготавливать объемные структуры высотой до 1 мм в количествах до 1000 штук на одной пластине.

Основными недостатками данной технологии являются необходимость использования уникальных источни­ков синхротронного излучения и нетрадиционность технологии, связанной с гальванопластикой на микроуровне.

Волоконная технология. Несколько лет тому назад в России были инициированы работы в области использования стекловолоконной технологии для создания устройств микроэлектромеханики со значительными размерами в направлении третьего измерения.

Изделия из стекла с малым поперечным сечением в виде определенной микроструктуры и технология их изготовления известны достаточно давно

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector