Значительная часть полупроводниковых материалов

Анализируя особенности развития технологического базиса микросистемной техники и, в частности, микроэлектромеханических систем, следует выделить один из основных факторов, определивших необходимость видоизменения классических технологических приемов микроэлектронного производства: толщина микромеханических элементов, в отличии от композиций классической микроэлектроники, может превосходить их латеральные размеры в плоскости, т. е. возникает необходимость формирования трехмерных «3D» (Ddimension) структур.

В рамках технологии микросистем развиваются следующие технологические направления:

1. Групповая технология «поверхностной» микромеханики на основе процессов тотального нанесения и избирательного удаления слоев.

2.  Групповые технологии «объемной» микромеханики, реализуемые в виде:

• технологии глубинного объемного травления;

LIGA-технологии (технологии матричного микрокопирования);

  волоконной технологии.

3. Технология индивидуального формообразования методами локального стимулирования роста (полимеризации), корпускулярно-лучевого и электростатического микропрофилирования, а также алмазного фрезерования.

Технологии «объемной» микромеханики позволяют активно развивать в конструкторско-технологическом плане третье измерение, однако по технологическим приемам и оборудованию они существенно отличаются от традиционных операций планарного процесса, известного из кремниевой технологии.

Осуществим краткий анализ современных групповых технологий «поверхностной» и «объемной» микромеханики, а также корпускулярно-лучевого формообразования.

Как показал выше приведенный анализ материалов, и учитывая технологическую базу, расположенную в г. Зеленограде, заключаем что наиболее оптимальным материалом для создания чувствительного элемента МЭМС является кремний.

Значительная часть полупроводниковых материалов, в том числе германий, кремний имеет структуру решетки типа алмаза (рисунок 8.2), характеризующуюся наличием тетраэдрических связей: у каждого атома есть четыре ближайших соседа, взаимодействующих силами ковалентных связей. Это выглядит так, как если бы в элементарную гранецентрированную кубическую ячейку, вдвинули вторую повернутую относительно первой на четверть постоянной решетки.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector