Микромеханические датчики давления.

В последние годы широкое применение микропроцессоров в машиностроительном оборудовании, бортовой аппаратуре аэрокосмических систем, медицинской  технике и бытовой аппаратуре потребовало разработки датчиков физических величин (давления, температуры и т.п.), совместимых с микроэлектронными системами контроля и управления К таким датчикам предъявляются жесткие требования: высокая точность,  миниатюрность, механическая прочность и надёжность, возможность сопряжения с микроэлектронными преобразователями сигналов.

В наибольшей степени эти показатели характерны для датчиков, создаваемых на основе технологии микроэлектроники. Основным  материалом для таких датчиков является кремний и его соединения. При изготовлении чувствительных элементов датчиков давления из монокристаллического кремния удается получить уникальные параметры изделий. В их число входят высокая прочность, идеальная упругая характеристика, высокие пьезорезистивные свойства кремния, который по тензочувствительности более чем в 20 раз превышает остальные материалы.

               Как и датчики температуры, датчики давления относятся к наиболее широко употребительным в технике. Однако для непрофессионалов измерение давления представляет меньший интерес, так как существующие датчики давления относительно дороги и имеют лишь ограниченное применение.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector