Динамически настраиваемый микрогироскоп

 Микрогироскоп включает в свой состав ЧЭ в виде слоистой структуры стекло — кремний — стекло Подвижный узел выполнен из проводящего монокремния с помощью анизотропного травления. На несущей пластине 1 посредством микроэлектронной технологии, по специально спроектированным фотошаблонам, изготовлены две рамки: внешняя 2, подвешенная на несущей пластине на двух торсионах 3, работающих на кручение, и внутренняя 5, подвешенная на торсионах 4. Торсионы имеют сечение, близкое к шестигранному, получаемому при анизотропном травлении кремния в плоскости (100) щелочным травителем и последующем изотропном полировании. В выносном сечении на рисуноке 3.6 показаны кристаллографические направления для всех шести граней, причем четыре из них находятся в семействе направлений [111], а две — в семействе направлений [100], что соответствует максимальной прочности при минимальной жесткости торсиона. Внутренняя рамка в данной конструкции выполняет роль гирочувствительного узла, а внешняя — функции гиромотора и приводится в принудительные колебания относительно оси x с помощью электростатического преобразователя.

Под внешней рамкой на стеклянной крышке  расположены возбуждающие электроды  а под внутренней рамкой — электроды 7 емкостного преобразователя угловых перемещений. При отсутствии угловой скорости W внутренняя рамка совершает вместе с внешней рамкой колебательные движения относительно оси x и не имеет их относительно оси y.

Межэлектродные емкости преобразователя перемещений для смежных плеч моста изменяются при этом одинаково, в результате схема является нечувствительной к таким перемещениям.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector