В настоящее время идет процесс широкого внедрения достижений кремниевой микроэлектронной технологии

В настоящее время идет процесс широкого внедрения достижений кремниевой микроэлектронной технологии в разработки датчиков различного применения. Кремниевая микромеханика становится практически отдельной областью исследования и разработок. В ФНПЦ РПКБ на основе подобных технологий была разработана целая серия маятниковых акселерометров со встроенной гибридной электроникой для авиационных систем инерциальной навигации и управления различного назначения.Обычно чувствительные элементы подобных акселерометров представляют собой кремниевый маятник, который может поворачиваться на упругих перемычках [6].

Конструкции двух основных вариантов кремниевых маятников разработанных акселерометров представлены на рисунке 2.8. Чувствительный элемент первого акселерометра (рисунок 2.8а) представляет собой кремниевый маятник толщиной 0,38 мм и диаметром 18 мм. Внешняя часть маятника может поворачиваться относительно внутренней части на двух упругих перемычках размерами 1,3´0,12´0,008 мм. В дальнейшем на маятник устанавливается обмотка датчика момента и напыляются электроды для емкостного датчика угла. Для подвода питания к обмотке датчика момента используются гибкие токоподводы. Кроме того, на маятнике установлена дополнительная масса для создания маятниковости. Зазор между маятником и статарными электродами составляет 0,021 мм. В акселерометре используется датчик момента магнитоэлектрического типа. Акселерометр имеет встроенную электронику обратной связи, изготовленную на основе гибридно-пленочной технологии.

 

                       

а

 

Чувствительный элемент акселерометра АЦ-1 (рисунок 2.8б) состоит из двух маятников размерами 5´3,8´0,38 мм, каждый из которых подвешен на трех упругих перемычках, одна размерами 1,2´0,7´0,010 мм, а две другие – размерами 0,6´0,7´0,010 мм. Причем одна, широкая, перемычка расположена на одной стороне пластины, а две

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector