В конструкции маятника предусмотрены три противоударных демпфера 4

В конструкции маятника предусмотрены три противоударных демпфера 4, представляющих собой упоры, выступающие от плоскости маятника на 2-3 мкм и связанные с телом маятника через консольную балку с виброгасящим покрытием, например, с металлизацией. Противоударные демпферы могут быть размещены вместо маятника на неподвижных крышках.

Демпфер использует гистерезисный принцип гашения ударов. Коэффициент потерь определяется трением в вязком слое покрытия упругого элемента. Параметры демпфирующего слоя подбираются экспериментально. Кроме того, настройку демпфера рассчитывают на неразрушающий режим.

Наибольшую погрешность в ЧЭ вносят контактные напряжения, передаваемые на его упругие подвесы от площадок соединения с неподвижными элементами.

В интегральных ЧЭ расстояние от точки приложения сосредоточенной силы до заданного сечения чаще всего не зависит от площади контакта. С уменьшением размеров площадки соединения и с увеличением расстояния до упругих подвесов маятника влияние контактных напряжений снижается. Кроме того, важным является обеспечение независимости начального зазора между подвижным и неподвижными электродами от температурных изменений.

Неподвижные электроды выполнены на стеклянной крышке (рисунке 2.7) посредством вакуумной металлизации или электроосаждения. Для защиты измерительных емкостей от влияния электростатических наводок они охвачены проводящим заземленным контуром 3. Жесткое соединение проводящего кремниевого маятника с ионосодержащими стеклянными крышками осуществляется электростатической сваркой в термопечи.

Рисунок 2.7 – Топология неподвижного электрода.

 

Неподвижные электроды могут быть выполнены из кремния, при этом на площадках соединения выращивается пленка из оксида, легированная бором. Толщина этой пленки должна быть не менее одного микрометра.

Левая и правая крышки являются одинаковыми. Электроды 2 левой и правой крышек относительно проводящего маятника образуют измерительные емкости. Возможно применение в конструкции дополнительных электродов 1 расположенных над проводящей несущей рамкой и соединенных вместе для правой и левой крышек. При таком решении не требуется применять контактную площадку от маятника для соединения с электрической схемой, что упрощает конструкцию ЧЭ.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector