Акселерометр маятникового типа

Наиболее ответственным узлом интегральных датчиков является чувствительный элемент (ЧЭ) Для акселерометров и микрогироскопов, например, это подвижный узел (мятник), а для датчиков давлений – мембрана. Рассмотрим подробнее ЧЭ микросистемных акселерометров [5].

Интегральный маятник (рисунок 2.6) выполнен из проводящего кремния марки КЭФ-4,5 и является одновременно подвижным электродом дифференциального емкостного датчика перемещений. Особенностью интегрального маятника являются короткие подвесы с криволинейными боковыми обводами, позволяющие задать ось качания маятника в минимальном сечении (шейке) подвеса. Тем самым конструктивно маятнику обеспечивается только одна степень свободы, а именно – угловые движения относительно оси качания.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector