Топология интегрального автоэмиссионного акселерометра и центральное сечение.

Акселерометр содержит подложку 1, неподвижный электрод 2, инерционную массу 3, расположенную с зазором относительно подложки 1, выполненную в виде пластины из полупроводникового материала, подвижный электрод 4, жестко соединенный с инерционной массой 3 и образующий с неподвижным электродом 2 туннельный контакт, используемый в качестве преобразователя перемещений, упругую балку 5, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой 3, а другим жестко закреплена относительно подложки 1, первую якорную область подвеса 6, один конец которой жестко закреплен относительно подложки 1, а другой расположен с зазором относительно подложки 1, вторую якорную область подвеса 7, один конец которой жестко закреплен относительно подложки 1, а другой расположен с зазором относительно подложки 1, третью якорную область подвеса 8, один конец которой жестко закреплен относительно подложки 1, а другой расположен с зазором относительно подложки 1, четвертую якорную область подвеса 9, один конец которой жестко закреплен относительно подложки 1, а другой расположен с зазором относительно подложки 1, первую дополнительную упругую балку 10, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой 3, а другим жестко закреплена относительно подложки 1, вторую дополнительную упругую балку 11, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой 3, а другим жестко закреплена относительно подложки 1, третью дополнительную упругую балку 12, которая одним концом жестко соединена с инерционной массой 3, а другим жестко закреплена относительно подложки 1, первый дополнительный подвижный электрод 13, жестко соединенный с инерционной массой 3 и подвижным электродом 2, второй дополнительный подвижный электрод 14, жестко соединенный с инерционной массой 3 и подвижным электродом 2, третий дополнительный подвижный электрод 15, жестко соединенный с инерционной массой 3 и подвижным электродом 2, первый дополнительный неподвижный электрод 16, жестко закрепленный относительно подложки 1 и образующий с первым дополнительным подвижным электродом 13 туннельный контакт, второй дополнительный неподвижный электрод 17, жестко закрепленный относительно подложки 1 и образующий со вторым дополнительным подвижным электродом 14 туннельный контакт, третий дополнительный неподвижный электрод 18, жестко закрепленный относительно подложки 1 и образующий с третьим дополнительным подвижным электродом 15 туннельный контакт, первый вспомогательный электрод 19, 35   жестко закрепленный относительно подложки 1, второй вспомогательный электрод 20, жестко закрепленный относительно подложки 1, третий вспомогательный электрод 21, жестко закрепленный относительно подложки 1, четвертый вспомогательный электрод 22, жестко закрепленный относительно подложки 1, первую вспомогательную пластину 23 прямоугольной формы, одним углом жестко соединенную с инерционной массой 3 и расположенную с зазором над первым вспомогательным электродом 19, образуя с ним плоский конденсатор за счет их взаимного перекрытия, вторую вспомогательную пластину 24 прямоугольной формы, одним углом жестко соединенную с инерционной массой 3 и расположенную с зазором над вторым вспомогательным электродом 20, образуя с ним плоский конденсатор за счет их взаимного перекрытия, третью вспомогательную пластину  25 прямоугольной формы, одним углом жестко соединенную с инерционной массой 3 и расположенную с зазором над третьим вспомогательным электродом 21, образуя с ним плоский конденсатор за счет их взаимного перекрытия, четвертую вспомогательную пластину 26 прямоугольной формы, одним углом жестко соединенную с инерционной массой 3 и расположенную с зазором над четвертым вспомогательным электродом 22, образуя с ним плоский конденсатор за счет их взаимного перекрытия, первую область

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector