В основу построения чувствительных элементов на ПАВ положена зависимость

В основу построения чувствительных элементов на ПАВ положена зависимость их скорости от деформации подложки, которая в свою очередь зависит от ускорения. Изменение фазовой скорости ПАВ может оцениваться либо по фазовой задержке (пассивная схема), либо по сдвигу частоты генератора с линией задержки в цепи обратной связи (активная схема). Предпочтительными являются автоколебательные схемы с частотным выходом, практически это схема усилителя с положительной обратной связью. В конечном счете, чувствительность микроакселерометра определяется задержкой ПАВ в замедляющей структуре.

Процесс преобразования физической величины в частоту выходного сигнала датчика на поверхностных акустических волнах можно представить в виде последовательности преобразований: измеряемая механическая величина преобразуется в деформацию упругого подвеса чувствительного элемента (пьезоэлектрическая подложка с ПАВ-устройством), что, в свою очередь, вызывает изменение фазочастотной характеристики этого устройства и приводит к изменению частоты колебаний автогенератора, содержащего в цепи образной связи ЛЗ.

В наиболее распространенных линиях с прямолинейной траекторией распространения ПАВ задержка сигнала определяется расстоянием между преобразователями и скоростью распространения ПАВ. Существующий набор материалов для пьезоэлектрических звукопроводов с учетом ограничений на их конечные линейные размеры и скорости распространения ПАВ позволяет оценить достижимые пределы задержки сигнала. Температурные коэффициенты задержки для данных материалов определяют температурную стабильность электрических параметров ЛЗ. В подавляющем большинстве случаев в ЛЗ с фиксированной задержкой сигнала используют неаподизованные входной и выходной преобразователи, полностью идентичные между собой; сквозная АЧХ определяется произведением АЧХ входного и выходного преобразователей.

Внешний вид предлагаемой конструкции микроакселерометра (без ПАВ-преобразователей и токоразводки) показан на рисунке 1.2. Практическая реализация работы находится на стадии изготовления фотошаблонов. В дальнейшем планируется

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector