Наибольший интерес в этой области представляют микротурбины — миниатюрные аналоги классических турбин,

В последние годы выполнены уникальные работы в области микросистемной техники по проблемам автономных миниатюрных систем энергообеспечения и нетрадиционных движителей. Наибольший интерес в этой области представляют микротурбины — миниатюрные аналоги классических турбин, вращение которых обеспечивается за счет сжигания газов при высоких температурах, например водорода, что обеспечивает возможность генерации мощности до десятков ватт при размерах микромашины в несколько миллиметров.

В США чаще используется термин «микроэлектромеханические системы» (МЭМС): «МЭМС – это интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электрические и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технолоией интегральных схем и имеющие размеры от микрометров до миллиметров. Соединение в таких системах компьютерной обработки с чувствительными и актюаторными компонентами, позволяют нам ощущуть и контролировать окружающий мир» [1].

В Японии чаще пользуются терминами «мехатроника» и «микромашины»: «Микромашины состоят из функциональных элементов, размером в несколько миллиметров и способных образовать комплексное микроскопическое устройство».

Каждое из этих определений подчеркивает один из существенных признаов: размер, комплексность, интерфейс с окружающей средой и т.д. Разные наименования одних и тех же объектов вынудили западных экспертов объединить аббревиатуры МЭМС, МСТ, ММ в одну М. Это удачное предложение, отражает и потенциальную трехмерность микросистемной конструкции, вряд ли приживется без принудительных мер стандартизации. Более того, процесс образования новых терминов продолжется: микроэлектрохимические системы (МЭХМС), наноэлектромеханические системы (НЭНС), микронанотехнологии (МНТ) и т.д.

За последние 20 лет был достигнут значительный прогресс в области миниатюризации различных механических структур. Эта тенденция привела к развитию существующих и появлению новых технологий. Первоначально эти технологии являлись развитием процессов, применявшихся в микроэлектронике. Со временем,

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector