МЭМС в интегральном исполнении являются новым направлением в микроэлектронике

МЭМС в интегральном исполнении являются новым направлением в микроэлектронике, которое в последнее время получило значительное развитие.  Технология изготовления МЭМС основана, главным образом, на операциях, составляющих технологию полупроводниковых приборов и ИС. В то же время технология изготовления МЭМС имеет множество существенных особенностей, которые при разработке конкретных микромеханических структур и систем приходится учитывать, используя типовые технологические процессы. Как правило, и это показано в настоящей работе, эти проблемы могут быть преодолены путем  разработки нестандартных технических решений. Кроме того, развитие МЭМС приводит к необходимости разработки и исследования конструкций, технологий, контрольно-измерительной аппаратуры, метрологии и спецтехнологического оборудования, не характерных для стандартной кремниевой электроники.

Микроэлектроника развивается в направлении увеличения сложности, плотности компоновки элементов и повышения быстродействия ИС. Не менее важным является повышение устойчивости ИС к внешним факторам (температуре, радиационным воздействиям и т.д.), приводящим к изменению параметров функционирования приборов. Одним из способов решения перечисленных проблем является использование структур «кремний на изоляторе» (КНИ), многослойных структур, что позволяет значительно уменьшить паразитные связи между элементами ИС и подложкой, а также увеличить устойчивость ИС к воздействиям дестабилизирующих факторов. Структуры КНИ позволяют обеспечить технологические и экономические преимущества при получении ИС и элементов микроэлектромеханических систем, производимых по данным технологиям, перед альтернативными приборами, изготавливаемыми на обычных подложках, а также получить изделия, которые невозможно реализовать с использованием других методов получения. В настоящее время одним из перспективных направлений производства структур КНИ являются технологии, использующие методы сращивания полупроводниковых пластин, позволяющие получать структуры с изолированным слоем монокристаллического кремния толщиной от 1 мкм до десятков мкм с использованием методов утончения рабочей пластины [1-12].

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector