Физические основы технологии наноэлектроники и нанофотоники

 

Данное учебное пособие является дополнительным материалом для самостоятельной работы студентов-магистрантов факультета Электроники и компьютерных технологий по курсу «Физические основы нанотехнологий». Предполагается, что основной материал по этому курсу излагается на лекциях, однако возможности лекционного курса не дают возможности подробно рассмотреть физические проблемы (эффекты, явления, процессы), лежащие в основе технологических методов, позволяющих формировать элементы и структуры, реализуемые при создании приборов и интегральных схем наноэлектроники и нанофотоники. Основное внимание уделяется применению этих методов для структур на основе кремния. При этом на первый план выдвигается возможность формирования элементов с проектными нормами порядка менее 40 нм и, главным образом, создание наноразмерных элементов, в которых реализуются квантоворазмерные эффекты (квантовые точки, квантовые проволоки, квантовые ямы). Из оценок следует, что размеры таких элементов на кремнии укладываются в величину порядка меньше 10 нм.

При изложении материала в каждом конкретном случае использовались источники, цитируемые в конце каждой главы. Предполагается, что ознакомление с материалами, которые содержат эти источники, даст возможность студентам не только пополнить знания по рассматриваемым проблемам, ответить на поставленные вопросы, но и участвовать в обсуждении проблем развития технологии наноэлектроники и нанофотоники с целью генерации новых идей и подходов по их реализации.

Основное внимание уделяется основам пучковых технологий, среди которых основное место занимает ионная имплантация и ионный синтез. В пособии сознательно не рассматриваются технологические аспекты использования атомно-силовой микроскопии, поскольку они подробно изложены в работах профессора Неволина В.К., которые широко известны в Университете. Сама по себе атомно-силовая микроскопия является самостоятельным курсом.


Ссылка на основную публикацию
Adblock detector