обработка, которая по скорости и селективности сравнимо с ЖХТ,

обработка, которая по скорости и селективности сравнимо с ЖХТ, а в то же время превосходит последнее по разрешению. Процессы ПХО были доминирующими до конца 70-х годов, поскольку их разрешение (порядка 2-3 мкм) удовлетворяло в то время требованиям массового производства ИС. Дальнейшее уменьшение размеров элементов ИС до 1 мкм и тем более освоение технологии изготовления ИС с субмикронными размерами элементов уже не могли быть реализованы с помощью ПХО из-за ее недостаточного разрешения. Поэтому в начале 80-х годов появились и стали интенсивно развиваться процессы и системы реактивного ионно – плазменного травления, в которых удачно сочетались высокое разрешение с высокой скоростью и селективностью, присущие жидкостным химическим процессам. Кроме того, увеличение размера пластин, повышение степени интеграции ИС, а, следовательно, и стоимости пластин, с одной стороны, и необходимость повышения эффективности использования энергии и материалов – с другой, определили переход от установок групповой обработки пластин к индивидуальной с автоматическим управлением процессом.

В современных условиях, когда общим требованием к процессам плазменного травления в режиме индивидуальной обработки пластин является достижение значений скорости  травления различных функциональных слоев СБИС порядка 1 мкм/мин или даже более, использование методов реактивного ионного травления становится проблематичным. При этом следует учитывать, что необходимо формировать структуры с размерами элементов 0,2 мкм и менее. Достижение таких характеристик процессов стало возможным лишь при появлении источников высокоплотной плазмы (ИВПП).

 Аналогичным образом совершенствовались процессы и оборудование для плазмо – стимулированного осаждения. На рис.2

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector