Указать известные методы устранения дефектов на фотошаблоне.

Изучить оборудования участка изготовления и контроля фотошаблонных заготовок. Вместе с инженером провести одну из технологических операций по проявлению, отмывки и сушке фотошаблона.

Используя цифровую камеру и микроскоп провести анализ дефектов лабораторного образца изготовленного фотошаблона. Предложить методы их устранения.

 

 

 

Изучить маршрут изготовления фотошаблонов.

Записать в отчет оборудование и последовательность действий оператора на исследуемой технологической операции из этапов создания фотошаблона.

Для анализа дефектов на исследуемом образце фотошаблона сделать цифровую фотографию. Для фотографирования участка исследуемого образца использовать микроскоп и цифровой фотоаппарат. Используя теоретический материал настоящей лабораторной работы и рисунок 1.4, выявить дефекты фотошаблона и предложить методы по их устранению.

 

 

 

Отчет по лабораторной работе должен содержать:

       краткий конспект теоретического материала;

       последовательность действий технолога на одной из стадий производства фотошаблона, с которой знакомились в процессе проведения лабораторной работы;

       цифровую фотографию участка исследуемого экспериментального образца фотошаблона с выделенными характерными дефектами (выделены и пронумерованы непосредственно на изображении);

       сводный перечень дефектов исследуемого экспериментального образца фотошаблона (таблица) и методы их устранения.

 

 

1.       Что такое фотошаблон? Из каких материалов он состоит?

2.       Каковы основные требования, предъявляемые к фотошаблонам?

3.       Укажите основные этапы изготовления интегральной микросхемы и на каких из них необходимо использовать фотошаблоны.

4.       Какова сущность и назначение процессов литографии в производстве интегральных микросхем?

5.       Какие основные типы дефектов встречаются при производстве фотошаблонов?

6.       Указать известные методы устранения дефектов на фотошаблоне.

7.       Укажите требования к размерам и расположению элементов топологии на шаблоне.

 

 

 

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector