Точность воспроизведения топологии определяется также размером пикселя

Точность воспроизведения топологии определяется также размером пикселя при записи рисунка, называемого размером адреса изображения. Чем меньше пиксель, тем лучше резкость края изображения. Проектировщик интегральной схемы должен заложить размер элемента топологии, как кратный размеру адреса. Соотношение между адресом (пикселем), расположением изображения и временем записи шаблона есть функция архитектуры генератора изображения.

В настоящее время размер элемента и его расположение – это два отдельных требования, но во многих схемах критический параметр – это расположение края элемента. Край одного элемента должен быть позиционирован с определенной точностью по отношению к краю другого элемента. На фотошаблоне точность выполнения края элемента топологии – это комбинация точности позиционирования элемента и точности воспроизведения критического размера (рисунок 1.15). Эти два параметра обычно рассматриваются, как независимые, но если один из параметров труднее обеспечить, чем другой, то необходимо привести их в соответствие.

Существующее производство заготовок шаблонов на щелочном стекле не удовлетворяет растущие требования потребителей и по основным параметрам уступает требованиям стандартаSEMI. Современное производство фотошаблонов осуществляется на стекле из синтетического кварца, имеющее термический коэффициент линейного расширения до 7,5´10-7°С-1;

Качество исходной шаблонной заготовки определяет качество конечного продукта. Пример технических требований к фотошаблонной заготовке (ФШЗ) приведен в таблице 1.2.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector