Критический размер – один или более элементов топологии

Критический размер – один или более элементов топологии, заданных проектировщиком и/или разработчиком технологии, как наиболее важный для управления (контроля) размером. Элементы могут быть ориентированы по Х или У и могут быть «темными» (непрозрачными) или «светлыми» (прозрачными). Три параметра являются важными:

       среднее значение данного критического размера по отношению к заданному;

       однородность критического размера по площади фотошаблона;

       линейность размеров элементов до некоторого нижнего ограничения.

Точность инструмента для измерения размера элемента и профиль элемента играют важную роль при оценке вышеупомянутых параметров. Каждый из трех параметров имеет специфическое влияние на дальнейший процесс переноса изображения на подложку.

Точное выполнение среднего значения критического размера важно для поддержания уровня экспозиции при переносе изображения на пластину и обеспечивает максимальную широту процесса экспонирования. Смещение экспозиции пластины для компенсации большого отклонения среднего значения критического размера шаблона приводит к уменьшению широты процесса экспонирования на пластине. Кроме того, большой разброс отклонения критического размера от шаблона к шаблону в комплекте требует перепроверки нужной экспозиции каждого слоя.

Точное выполнение однородности критического размера важно для получения максимального выхода годных интегральных микросхем. Важность линейности критического размера зависит от дизайна конкретной микросхемы.

Дефекты можно определить как некое дополнение или потерю хромового покрытия, тогда как несоответствие топологии охватывает множество ошибок, например, неправильная выполненная форма элемента

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector