Фотошаблоны характеризуются тремя главными параметрами

– Закрытие поверхности фотошаблона пелликлами.

Фотошаблоны характеризуются тремя главными параметрами:

       точность расположения элементов топологии;

       размеры элементов топологии;

       дефектность.

С недавних пор точность выполнения топологии стала предметом особого внимания и, несмотря на то, что пока нет ясных требований, предпринимаются попытки исправлять присущие краю изображения ошибки (дефекты), связанные с процессами записи изображения и формирования маски.

Кроме трех перечисленных еще один параметр, которому теперь уделяется пристальное внимание – это скругление углов, поскольку этот дефект делает невозможным измерение размера элемента и ограничивает детектирование дефектов.

Важным параметром ФШ является точность расположения элементов топологии. Этот параметр имеет отношение к центровке (совмещению) между двумя и более шаблонов критических слоев данного комплекта шаблонов и обычно называется точностью совмещения (перекрытия). Но в настоящее время этот параметр соотносят к некоей «абсолютной сетке». Эта сетка – эталон, который используется для всех комплектов шаблонов, а не одного комплекта. В настоящее время – это обычно «сетка» используемого генератора изображения или машины измерения координат изображения. В Германском Национальном Бюро Стандартов существует двухмерный стандарт на шестидюймовой кварцевой подложке толщиной 0,25² (). Стандарт состоит из 29×29 матрицы перекрестий. Калибровка заключается в определении полной длины трех выбранных рядов и колонок перекрестий, координат 169 меток перекрестий в поле решетки. Недостоверность эталона представляется, как двойное стандартное отклонение: полная длина – 2s не хуже 30нм, Х-У координаты – 2s не хуже 35нм. Ортогональность и прямолинейность сетки оборудования может быть проверена независимо от эталона с помощью машины измерения координат или самой установки электроннолучевого экспонирования: при повороте на 90° – ортогональность, при повороте на 180° – прямолинейность. Линейность может быть проверена при перемещении решетки на 1 шаг. Длина может быть измерена с помощью лазерного интерферометра, используемого для позиционирования стола в установке записи изображения, но присущие установке ошибки обычно ограничивают абсолютную точность.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector