Процессы обработки резистов

В процессе такого производства сложные схемы формируются на поверхности и в объеме кремниевой пластины за несколько последовательных этапов [1]. Каждый этап начинается с покрытия поверхности полупроводниковой пластины пленкой материала, называемого резистом, чувствительного к тому или иному виду излучения. Изображение в слое резиста формируется при его освещении УФ-излучением или актиничным излучением высокой энергии через маску (фотошаблон) с соответствующим рисунком. В позитивных резистах засвеченные области становятся растворимыми и удаляются при после-дующей жидкостной обработке, тогда как облученные области негативных резистов остаются нерастворимыми, а удаляются неэкспонированные области

Рисунок резистной маски повторяется в металлических и изолирующих пленках вытравливанием ненужных областей. Рисунок на металлической пленке может быть также получен методом взрывной (обратной) литографии. Таким образом, последовательность указанных операций позволяет создавать в кремнии сложные электронные схемы.

Основная операция литографического процесса это перенос изображения на пленку фоторезиста с помощью фотошаблона на установках пошагового экспонирования и совмещения (степпер). При этом на пластину переносится изображение, точно соответствующее рисунка фотошаблона, который должен быть чистым и бездефектным.

Фотошаблон – это устройство (фотомаска), несущее информацию о конфигурации и размерах того или иного слоя интегральной микросхемы.

Фотошаблон (ФШ) можно изготовить из любого прозрачного для излучения материала, создав в нем непрозрачные участки в соответствии с конфигурацией требуемого рисунка интегральной микросхемы. Ввиду специфических особенностей и требований ФШ изготавливают из пластин оптического стекла, как правило, из синтетический кварца. ФШ для электронной и рентгеновской литографий могут изготавливаться из других материалов Непрозрачные участки ФШ формируются из металлических пленок, например хром. Фактически фотошаблон является модулятором светового потока.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector