Изучение процессов изготовления фотошаблонов для производства современных интегральных схем

 

Данный лабораторный практикум по курсу «Маршруты БИС» предназначен для студентов 4-ого курса, обучающихся по специальностям 210.104­65 «Микроэлектроника и твердотельная электроника», 210.108­65 «Микросистемная техника» и по программе бакалавриата 210.100­62 «Электроника и микроэлектроника». На выполнение каждой лабораторной работы в специализированной учебной лаборатории, оснащенной необходимыми установками, должно быть отведено не менее 2-х академических аудиторных часов. Плановая самостоятельная работа студента по подготовке к лабораторной работе и оформление отчета должна составлять не менее 4-х часов (в рамках запланированного времени на самостоятельную работу студента в течение семестра).

Каждая из трех лабораторных работ, приведенных в данной разработке, предусматривает предварительное освоение студентами физики и конструкции интегральных биполярного транзистора и МОП-транзистора, знакомство с планарной технологией изготовления современных больших интегральных схем и изучения ее базовых принципов, изучение процессов микроинтегральной технологии. Все указанные знания могут быть получены в рамках основных курсов, читаемых студентов согласно Государственного образовательного стандарта для специальностей 210.104­65 «Микроэлектроника и твердотельная электроника» и 210.108­65 «Микросистемная техника».


Ссылка на основную публикацию
Adblock detector