Локальная эпитаксия

·     Выбор времени диффузии путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «tД» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);

·     Выбор начальной концентрации путем нажатия левой кнопки мыши в соответствующей точке ползунка «C0» в поле выбора параметров (точное цифровое значение выводится ниже);

·     Выбор легирующей примеси путем нажатия кнопки с соответствующим химическим символом (кнопка текущей примеси утоплена);

·     Выбор температуры и скорости эпитаксии путем передвижения курсора мыши по полю изменения температуры и скорости, и нажатия левой кнопки в соответствующей точке (точные цифровые значения выводятся левее служебного поля);

·     Вывод кратких теоретических данных путем нажатия кнопки «теория» в служебном поле;

·     Выход в основное меню (кнопка «выход» там же).

Результатом работы программы являются профили распределения легирующих примесей в переходном эпитаксиальном слое, которые выводятся в нижнем правом поле.

 

2.8.4. Локальная эпитаксия.

При выборе пункта меню «Локальная эпитаксия» производится загрузка модуля LocalSi, внешний вид которого показан на рисунке 2.7. В этом модуле предусмотрены следующие возможности:

·     Выбор состава маски путем нажатия кнопки «маска» с дальнейшим выбором химической формулы состава маски;

·     Выбор состава ПГС путем нажатия кнопки «ПГС» с дальнейшим выбором химической формулы состава парогазовой смеси;

·     Выбор температуры и соотношения Cl/H путем передвижения курсора мыши по полю изменения температуры и Cl/H, и нажатия левой кнопки в соответствующей точке (точные цифровые значения выводятся выше служебного поля);

·     Вывод кратких теоретических данных путем нажатия кнопки «теория» в служебном поле;

·     Выход в основное меню (кнопка «выход» там же).

Результатом работы модуля является примерный вид структуры, которая могла бы быть выращена при заданных режимах, выводимый справа с соответствующим комментарием, выводимым в нижнем правом углу экрана.

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector