Структура обучающей программы

Программа Deposнаписана на языке Borland Pascal версии 7.0 производства фирмы Borland International. Программа представляет собой интерактивную оболочку, внешне похожую на оболочку операционной среды Windows, но работающую под DOS более низких версий. Выполнена она по модульной структуре, то есть существует основная программа (названная depos.pas), которая представляет собой главное меню и из которой вызываются необходимые модули (LocalSi.pas, Analyze.pas, Photo.pas, Autoleg.pas), каждый из которых отвечает за отдельную проблему в изучении газофазной эпитаксии кремния. Схематичный алгоритм программы Depos представлен на рис. 2.1.

Поскольку принципиальный ответ на вопрос о возможности протекания эпитаксии в системе дает термодинамический анализ, а основными проблемами эпитаксии является выращивание кристаллографически совершенных слоев, с контролируемым профилем распределения примесей и выращивание локальных эпитаксиальных структур, то в структуру предполагаемой обучающей программы необходимо включить следующие части:

·Термодинамический анализ,

дающий принципиальный ответ о направлении протекания процесса;

·Изучение микроморфологии поверхности,

позволяющее определить оптимальный режим и условия формирования наиболее совершенных слоев;

·Изучение автолегирования,

позволяющее прогнозировать профили распределения легирующих примесей в переходном эпитаксиальном слое;

·Изучение особенностей локальной эпитаксии кремния,

отражающее влияние условий проведения процесса кристаллизации на частично маскированной поверхности.

 

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector