. Моделирование процессов травления и осаждения

Физико-химические и геометрические модели травления/осаждения слоев. Процессы травления и осаждения приобретают все большее значение по мере уменьшения размеров интегральных элементов. Минимальные воспроизводимые размеры и многие проектные нормы определяются в первую очередь именно этими процессами. Профиль травления и форма осаждаемых слоев непосредственно влияют на приборные характеристики интегральных структур и на параметры готовых изделий.

В субмикронных интегральных схемах элементы и конструктивно-технологические узлы изготавливаются с помощью методов плазменного травления, обеспечивающих высокоточное воспроизведение рисунка, созданного маскирующим слоем, в виде поверхностного рельефа на пленке или подложке.

При моделировании технологических маршрутов и постановке многофакторных экспериментов на базе «виртуального производства» в рамках программной среды приборно-технологического моделирования важным фактором является очень высокая доля технологических операций травления/осаждения в общей последовательности технологических обработок, в том числе при выполнении операций фотолитографии. В этом случае просто невозможно использовать физико-химические модели, основанные на детальном описании процессов, происходящих в конкретном реакторе или установке. Такие модели являются эффективными при разработке новых процессов или новых типов технологического оборудования, при оптимизации параметров установок и реакторов.

Поэтому наряду с физико-химическим подходом к моделированию процессов травления и осаждения,  важную роль играют модели, построенные на геометрическом принципе преобразования толщин слоев в зависимости от локально рассчитываемых скоростей травления или осаждения.

 Алгоритм струны. В модели струны граница между внешней средой и обрабатываемой поверхностью, а также между обработанной и необработанной областями  аппроксимируется набором точек, соединенных между собой прямыми отрезками (рисунок 8.1). Прямые отрезки представляют собой сегменты струны, а набор точек, расположенных на границе раздела, — это точки закрепления струны

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector