Очень важным вопросом при формировании мелкозалегающих переходов является выбор оптимального набора

Дислокационные кольца. Для случая аморфизирующей имплантации известно о формировании протяженных дефектов на границе между аморфизированной и кристаллической областями.  Эти протяженные дефекты известны как кольца дислокаций.

При моделировании дислокационные кольца считаются имеющими одинаковый радиус и плотность и оцениваются по результатам исследований с помощью просвечивающей электронной микроскопии. Расположение колец определяется по глубине аморфного слоя.

Модель кластеризации междоузлий. Последнее предположение – кластеризация точечных дефектов. Согласно экспериментальным исследованиям междоузлия группируются в плоскости {113}. Найдено, что эти кластеры диссоциируют во время отжига и скорость диссоциации экспоненциально падает. Поэтому за короткое время только часть имплантированных дефектов способна внести вклад в TED-эффект. Если время увеличивается, то число высвобождаемых дефектов возрастает, и вклад в TED – эффект увеличивается. Если отжиг идет при высокой температуре, большинство кластеров активно диссоциируют в процессе роста температуры. Поэтому должен быть произведен тщательный учет диссоциации кластеров при моделировании подъема температуры в процессе отжига.

Очень важным вопросом при формировании мелкозалегающих переходов является выбор оптимального набора высокотемпературных отжигов. Для того чтобы снизить бюджет термических операций в технологическом процессе, используют высокие скорости подъема и снижения температуры, кратковременный пиковый отжиг. Исследования, посвященные влиянию бюджета термических операций при формировании мелких исток/стоковых областей p+ — типа [2.3.2], показали, что отжиг при более высокой температуре способствует увеличению концентрации электрически активной примеси (бора, в данном исследовании) и, тем самым, снижению поверхностного сопротивления слоев. Однако чтобы достичь одновременно с этим уменьшения глубины p-n переходов, необходимо использовать более резкие температурные градиенты подъема и спада температуры в процессе быстрого термического отжига. Интересных результатов при оптимизации процесса создания сверхмелких переходов удается достичь за счет

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector