Поскольку современные технологии используют быстрый термический отжиг

Поскольку современные технологии используют быстрый термический отжиг, важны не только температура и длительность процесса, но и скорость подъема и спада температуры. Важно отметить, что речь идет длительности процесса, измеряемой единицами и даже десятыми долями секунд. Кроме того, часто используется многоступенчатый отжиг.

Для построения модели TED – эффекта проводились специальные исследования, объединяющие эксперимент и высокоточное численное моделирование. Например, использовались специальные маркирующие слои бора для регистрации влияния ионной имплантации на диффузию примесей. Экспериментальная процедура заключалась в следующем. Использовались подложки с ориентацией  10-15 Омсм p-типа и n-типа. Методом эпитаксиального наращивания создавался маркирующий слой толщиной 0.2 мкм и концентрацией бора 1х1018см-3. Далее выращивался слой нелегированного кремния толщиной 0.4 мкм. Затем проводилась имплантация ионов фосфора, мышьяка или кремния с энергией 50 КэВ  и дозами в диапазоне 1х1013  — 1х1015 см-2. Одна подложка оставалась  в качестве контрольного образца нелегированной.  Полученные образцы отжигались при температуре 750С в течение различных периодов времени, часть образцов оставлены не отожженными. Результирующие профили распределения примеси исследовались методом вторичной ионной масс — спектроскопии.

Для точного количественного моделирования обнаруженных эффектов необходимо рассмотреть все модели, задействованные при расчете исследуемых образцов.

+1 модель. Первый вопрос, который должен быть рассмотрен – постимплантационные дефекты. Имплантирумый атом создает траекторию разрушений, соударяясь с атомами решетки и смещая их, создавая междоузлия и вакансии. Каждый имплантированный ион может создавать порядка 100 междоузлий (I) и  вакансий (V), прежде чем он остановится.

Считается, что, хотя полное количество постимплантационных дефектов значительно выше, каждый ион в результате имплантации смещает в среднем 1 атом из решетки, причем распределение междоузлий смещено в глубину подложки

Ссылка на основную публикацию
Adblock detector